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青嵐:四十年兩場(chǎng)“芯片戰(zhàn)爭(zhēng)”,ASML怎么從獵人變成獵物
客觀來看,經(jīng)歷狂風(fēng)暴雨洗刷,中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)發(fā)育已大為改觀,從設(shè)備材料到特色工藝、產(chǎn)品品類,越來越多空白點(diǎn)得到填補(bǔ),海外廠商近年來“拱手相讓”的優(yōu)質(zhì)客戶,為本土供應(yīng)商提供了以往不敢想象的導(dǎo)入機(jī)會(huì),生態(tài)網(wǎng)絡(luò)的橫向、縱向聯(lián)系顯著加深。
中國(guó)集成電路創(chuàng)新聯(lián)盟秘書長(zhǎng)葉甜春,近期就分享過這樣一組半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化進(jìn)展:
12英寸45-28納米工藝用材料品種覆蓋率超過70%;先進(jìn)存儲(chǔ)工藝用材料品種覆蓋率超過75%;
大硅片產(chǎn)品取得全面突破,實(shí)現(xiàn)對(duì)國(guó)內(nèi)FAB廠主要工藝的全覆蓋;
光刻膠取得突破性進(jìn)展,i線膠市占率超過20%,KrF膠市占率達(dá)10%,ArF干式膠開始批量應(yīng)用,部分品種ArFi浸沒式膠開始小批量應(yīng)用;
濺射靶材實(shí)現(xiàn)對(duì)國(guó)內(nèi)FAB廠的全面供應(yīng),部分產(chǎn)品國(guó)際市場(chǎng)占有率超過40%;
本土企業(yè)已成為CMP拋光材料、特種電子氣體、工藝化學(xué)品的主力供應(yīng)商;
傳統(tǒng)封裝用主要材料實(shí)現(xiàn)自主供應(yīng)......
先進(jìn)制程這顆大樹之外,中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的整片森林已大為繁茂。
當(dāng)然,我們還遠(yuǎn)未到可以彈冠相慶的時(shí)候,縱觀7納米及以上制程產(chǎn)業(yè)生態(tài),各節(jié)點(diǎn)從無到有、從有到優(yōu)的進(jìn)程還任重道遠(yuǎn),但無論如何,從資源到應(yīng)用,主動(dòng)權(quán)已牢牢掌握在中國(guó)人自己手中,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不屈不撓的努力,必將穩(wěn)步地達(dá)到自己的目的。
至于先進(jìn)制程的追趕,一方面,我們的確需要正視其難度,少一些喋喋不休的“雞血”,以EUV光刻機(jī)為例,其LPP光源就涉及到激光器和錫液滴發(fā)生器、收集鏡三大工程挑戰(zhàn),ASML旗下Cymer的突破,相當(dāng)程度上受益于LLNL等美國(guó)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室在慣性約束聚變上的知識(shí)積累,這也是美國(guó)對(duì)ASML長(zhǎng)臂管轄的底氣所在,而中國(guó)工程團(tuán)隊(duì)想要借鑒現(xiàn)有系統(tǒng)框架,則面臨著氣體激光器研究人才斷檔等一系列現(xiàn)實(shí)問題。
但另一方面看,即便獲得蔡司、通快(Trumpf)等核心供應(yīng)商全力支持,ASML從啟動(dòng)EUV光刻研究到向大生產(chǎn)線交付產(chǎn)品,也歷經(jīng)了整整二十年磨難,然而LPP-EUV可供挖掘的技術(shù)潛力,卻未必能支持后來者有同樣的二十年時(shí)間打磨迭代。強(qiáng)行拉升數(shù)值孔徑的Hyper-NA EUV,面臨焦深過小和掩膜三維效應(yīng)等多重制約,光刻技術(shù)體系的又一次大變局或許將在追趕的中途發(fā)生。
目前從IRDS路線圖更新看,自由電子激光(FEL)或許最有希望成為下一代6.X納米光刻光源的基礎(chǔ),而在這個(gè)少有公眾關(guān)注的領(lǐng)域,中國(guó)研究者的創(chuàng)新能力并不遜色于歐美同行。
我們?cè)谶@條潛在賽道上的競(jìng)爭(zhēng)力,不僅體現(xiàn)在FEL大裝置規(guī)格和數(shù)量上,2021年,中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所強(qiáng)場(chǎng)激光物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,更是在基于激光加速器的小型化自由電子激光研究上取得突破性進(jìn)展,率先完成臺(tái)式化自由電子激光原理實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,確立了我國(guó)在該領(lǐng)域的全球領(lǐng)跑地位。
領(lǐng)跑全球的我國(guó)小型化FEL技術(shù)
總之,面對(duì)橫亙?cè)诠饪虡O限前的道道難關(guān),我們的攻堅(jiān)不僅需要埋頭苦干,更呼喚著因地制宜、因時(shí)制宜的“巧干”。
至于“芯片戰(zhàn)爭(zhēng)”的另一大目的,即帶動(dòng)高端制造業(yè)復(fù)興,美國(guó)商務(wù)部長(zhǎng)雷蒙多對(duì)此有一段直白的解說:“我們將讓制造硬件再次變得性感起來。在美國(guó)制造硬件,獲得一份體面、光鮮、高薪的工作不好么?我們所有人將共同重建我們的工業(yè)基礎(chǔ),增強(qiáng)美國(guó)的創(chuàng)新能力,創(chuàng)造數(shù)十萬個(gè)高薪工作”。
雷蒙多的夢(mèng)想,源于其兒時(shí)經(jīng)歷,在那段被她講述過許多遍的故事里,制表商寶路華(Bulova)把工廠搬去中國(guó),生生摧毀了制表工人們聚居的社區(qū)。
她所提到的寶路華,曾在石英表技術(shù)發(fā)展史上做出過奠基性貢獻(xiàn),然而就是這樣一家掌握獨(dú)門技術(shù)的企業(yè),反而在產(chǎn)業(yè)化上逐漸掉隊(duì),最終在所謂“石英危機(jī)”中被迫變賣。
細(xì)究寶路華的歷史,擊倒它的其實(shí)不是來自中國(guó)或者日本的競(jìng)爭(zhēng),而恰恰是懷念著舊日好時(shí)光的美國(guó)人自己,“高薪工作”與制造業(yè)成本體系的剛性下降趨勢(shì)之間,存在著難以調(diào)和的內(nèi)在張力。
寶路華,正是美國(guó)制造業(yè)命運(yùn)的一個(gè)隱喻。
收收味吧,反思怪們
對(duì)于ASML和其他半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界言辭懇切的呼吁,在中文輿論場(chǎng)上卻始終回蕩著一種難以理解的聲音,為野蠻粗暴的美式管制歡呼叫好,話里話外暗示中國(guó)企業(yè)的遭遇是有錯(cuò)在先,從而招致“文明世界”被迫回?fù)?,“為啥不欺?fù)別人只欺負(fù)你”的鄉(xiāng)愿式解讀大行其道。
在點(diǎn)化群氓、深刻反思之前,這些洞悉天下事的“文化人”,大有必要先對(duì)自己的“精神祖國(guó)”補(bǔ)上一些通識(shí)。
上世紀(jì)八十年代曠日持久的美日貿(mào)易戰(zhàn)、技術(shù)戰(zhàn)里,美國(guó)人早已展示過“文明世界”的底色。
1982年,一位年輕華裔技術(shù)員陳果仁之死震驚全美,僅僅因幾句口角,兩名素昧平生的底特律汽車工人就用棒球棍將他毆打致死,被誤認(rèn)成日本人的陳果仁,不幸成為兇手對(duì)日本汽車工業(yè)仇恨的發(fā)泄對(duì)象。
事后,美國(guó)法官判處兇手三年緩刑和3000美元罰款,判詞中理直氣壯地寫道:“你不能讓懲罰與罪行相稱,你應(yīng)該讓懲罰與罪犯(品行)相稱”。
同樣在這一時(shí)期,被不斷打磨塑造的“日本威脅論”,激發(fā)不少小鎮(zhèn)商店主掛出了“日本人禁止入內(nèi)”(No Japs Allowed)的標(biāo)牌;一家俄亥俄州小診所為員工購(gòu)買美國(guó)國(guó)產(chǎn)品牌汽車提供400美元補(bǔ)貼,“Buy American”運(yùn)動(dòng)隨即風(fēng)靡一時(shí),從理發(fā)到加油,開國(guó)產(chǎn)車的顧客總能得到打折待遇,甚至交通違章,也能因法官的“同情分”而獲寬宥;洛杉磯地鐵試圖采購(gòu)日本制造的車組,則引起了潮水般的電話“網(wǎng)暴”......
對(duì)這樣的海量“個(gè)案”,某些國(guó)內(nèi)文人大概是不敢將之扣上“義和團(tuán)”大帽的。
相比這種基層涌動(dòng)的“民氣”,美國(guó)精英階層的表現(xiàn)同樣令人印象深刻。
勞聯(lián)-產(chǎn)聯(lián)負(fù)責(zé)人柯克蘭(Lane Kirkland)毫不遮掩地表示:“聽到日本人懇求自由貿(mào)易,就像是從妓女的嘴里聽到‘愛’這個(gè)詞一樣”;眾議院大佬布魯克斯(Jack Brooks)直言,杜魯門只向日本投下兩顆核彈是一個(gè)遺憾,“他本應(yīng)該投四顆”,更多國(guó)會(huì)議員則在考慮對(duì)所有日本進(jìn)口商品征收25%的關(guān)稅;在經(jīng)濟(jì)界,知名學(xué)者勞倫斯·薩默斯承認(rèn)“現(xiàn)在認(rèn)為日本對(duì)美國(guó)的威脅比蘇聯(lián)更大的多數(shù)美國(guó)人可能是正確的”,《哈佛商業(yè)評(píng)論》主編艾倫·韋伯總結(jié)稱:“與日本的冷和平正在取代與蘇聯(lián)的冷戰(zhàn)”。
在輿論場(chǎng)上,彼時(shí)的新銳華盛頓智囊們,給曼斯菲爾德等老一代國(guó)別研究專家戴上了“菊花親吻者”(Chrysanthemum Kisser)的頭銜,時(shí)而渲染“數(shù)百名華盛頓精英正領(lǐng)取日本津貼”的驚悚故事,時(shí)而描繪與貿(mào)易對(duì)手之間即將到來的軍事沖突。
當(dāng)然,說到筆下千鈞的功力,還得看傳奇記者白修德(Theodore White)。
在其發(fā)表于1985年的經(jīng)典報(bào)道《來自日本的危險(xiǎn)》中,白修德寥寥幾筆就勾勒出日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的舊賬與新仇:“今年,通產(chǎn)省的主要目標(biāo)顯然是美國(guó)電子行業(yè)。去年美國(guó)對(duì)日電子貿(mào)易逆差超過了汽車貿(mào)易逆差,達(dá)到154億美元。美國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)正遭受攻擊。日本人毫不留情地提出要抹殺美國(guó)在該行業(yè)的霸主地位,而這種優(yōu)勢(shì)正是基于我們自己的研究和發(fā)明。日立現(xiàn)在是電子產(chǎn)品出口商,在二戰(zhàn)的最后兩周,作為日本領(lǐng)先的武器制造商之一,它被我們的轟炸機(jī)炸成了碎片。但日立現(xiàn)在正在反擊,其口氣再次變得咄咄逼人。該公司正試圖從英特爾和AMD手中奪走半導(dǎo)體市場(chǎng)”。
與此同時(shí),白修德以驚人的坦率與冷峻,解剖了美利堅(jiān)民族焦慮的根源:
“如果全世界所有人都享有同等的自由貿(mào)易權(quán),那么那些工人感激微薄工資的國(guó)家可以征服美國(guó)等發(fā)達(dá)國(guó)家的市場(chǎng),而美國(guó)工人要求的工資是世界上最高的。亞洲的生活水平必須提高,否則我們的水平就會(huì)下降,直到達(dá)到平衡......日本的后面是‘四小龍’,中國(guó)和印度則緊隨其后,它們迫切希望提高生活水平—必要時(shí),不惜犧牲美國(guó)人的生活水平......所有國(guó)家都想效仿日本,不惜犧牲美國(guó)的就業(yè)機(jī)會(huì),良心不允許美國(guó)人排斥世界上那些努力改善自己生活的窮苦人,但常識(shí)不允許我們走一條以我們的貧困為代價(jià)讓他們改善生活的道路......日本人也享有同樣的和平,在我們的保護(hù)下,幾乎不用付出任何代價(jià),卻保留了將美國(guó)人的生計(jì)逼入絕境的權(quán)利”。
正如白修德所袒露的,在某種美式思維里,美國(guó)式生活水平與后發(fā)國(guó)家工業(yè)化之間,就是存在著一根心照不宣的“高壓線”。
在當(dāng)下改頭換面的“芯片戰(zhàn)爭(zhēng)”表演中,不難看到對(duì)冷戰(zhàn)末期腳本堪稱像素級(jí)的抄襲。只要我們一天沒有停下發(fā)展的腳步,像日本那樣沉淪在“失去的XX年”,美國(guó)朝野的歇斯底里恐怕就一天也不會(huì)停歇。
不過時(shí)移勢(shì)易,這樣的狹隘心理和霸道做法,在今天不僅無法阻擋中國(guó)科技自強(qiáng)之路,卻反而會(huì)堵住如ASML之流的“伙伴”發(fā)展空間,有朝一日美國(guó)夢(mèng)醒時(shí)分,ASML的統(tǒng)治性地位,恐怕也將一去不復(fù)返。
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- 責(zé)任編輯: 李沛 
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