觀察員
-
我國成功研制出世界首臺分辨力最高紫外超分辨光刻裝備 可加工22納米芯片
關鍵字: 光刻光刻機芯片導讀該光刻機由中國科學院光電技術研究所研制，光刻分辨力達到22納米，結合多重曝光技術后，可用于制造10納米級別的芯片。據(jù)@軍報記者 11月29日消息，由中國科學院光電技術研究所承擔的國家重大科研裝備——超分辨光刻裝備項目今天在成都通過驗收，這是我國成功研制出的世界首臺分辨力最高紫外超分辨光刻裝備。該光刻機由中國科學院光電技術研究所研制，光刻分辨力達到22納米，結合多重曝光技術后，可用于制造10納米級別的芯片。
超分辨光刻裝備核心部件納米定位干涉儀以及精密間隙測量系統(tǒng)
中科院理化技術研究所許祖彥院士等驗收組專家一致表示，該光刻機在365納米光源波長下，單次曝光最高線寬分辨力達到22納米。項目在原理上突破分辨力衍射極限，建立了一條高分辨、大面積的納米光刻裝備研發(fā)新路線，繞過了國外相關知識產(chǎn)權壁壘。為超材料/超表面、第三代光學器件、廣義芯片等變革性戰(zhàn)略領域的跨越式發(fā)展提供了制造工具。
超分辨光刻設備核心部件超分辨光刻鏡頭
同時，利用研制成功的超分辨光刻裝備已制備出一系列納米功能器件，包括大口徑薄膜鏡、超導納米線單光子探測器、切倫科夫輻射器件、生化傳感芯片、超表面成像器件等，驗證了該裝備納米功能器件加工能力，已達到實用化水平。
超分辨光刻設備加工的4英寸光刻樣品
光刻機是制造芯片的核心裝備，我國在這一領域長期落后。它采用類似照片沖印的技術，把一張巨大的電路設計圖縮印到小小的芯片上，光刻精度越高，芯片體積可以越小，性能也可以越高。但由于光波的衍射效應，光刻精度終將面臨極限。
采用超分辨光刻設備加工的超導納米線單光子探測器
據(jù)中新網(wǎng)報道，中科院光電所所長、超分辨光刻裝備項目首席科學家羅先剛研究員介紹說，2012年，該所承擔了超分辨光刻裝備這一國家重大科研裝備項目研制任務，經(jīng)過近7年艱苦攻關，在無國外成熟經(jīng)驗可借鑒的情況下，項目組突破了高均勻性照明、超分辨光刻鏡頭、納米級分辨力檢焦及間隙測量和超精密、多自由度工件臺及控制等關鍵技術，完成國際上首臺分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備研制，其采用365納米波長光源，單次曝光最高線寬分辨力達到22納米(約1/17曝光波長)。在此基礎上，項目組還結合超分辨光刻裝備項目開發(fā)的高深寬比刻蝕、多重圖形等配套工藝，實現(xiàn)了10納米以下特征尺寸圖形的加工。
中科院光電所科研人員展示利用超分辨光刻設備加工的超導納米線單光子探測器
@軍報記者 介紹稱，該光刻機制造的相關器件已在中國航天科技集團公司第八研究院、電子科技大學太赫茲科學技術研究中心、四川大學華西醫(yī)院、中科院微系統(tǒng)所信息功能材料國家重點實驗室等多家科研院所和高校的重大研究任務中取得應用。
項目副總設計師胡松研究員介紹超分辨光刻裝備研制項目攻關情況
目前，中科光電所超分辨光刻裝備項目已發(fā)表論文68篇，已獲授權國家發(fā)明專利47項，授權國際專利4項，并培養(yǎng)出一支超分辨光刻技術和裝備研發(fā)團隊。羅先剛表示，中科院光電所后續(xù)將進一步加大超分辨光刻裝備的功能多樣化研發(fā)和推廣應用力度，推動國家相關領域發(fā)展。
中科院光電所科研人員操作超分辨光刻設備
- 請支持獨立網(wǎng)站，轉發(fā)請注明本文鏈接：
- 責任編輯:張建鑫
- 最后更新: 2018-11-29 22:15:20
-
非洲手機第三季度報告：中國傳音34.9%份額居第一
2018-11-29 22:10 -
胡曉明回歸螞蟻金服出任總裁 井賢棟熱烈歡迎
2018-11-29 19:18 阿里帝國 -
倪光南：未來中國開源芯片將和英特爾、ARM三足鼎立
2018-11-29 16:02 中國超越 -
比亞迪宣布在湖北宜昌建至少百公里“云軌”
2018-11-29 16:02 智慧交通 -
Ovum評論：禁止中國供應商將破壞全球價格5G技術生態(tài)系統(tǒng)
2018-11-29 10:02 科技前沿 -
科技早報|華為稱有信心提供安全5G產(chǎn)品 有機構打折出售滴滴老股
2018-11-29 09:49 -
讓大家失望了，那個“廣譜”抗癌藥并不是“神藥”
2018-11-29 08:55 醫(yī)學 -
外媒：三星很可能找京東方生產(chǎn)新手機的Infinity-O屏幕
2018-11-28 15:19 手機 -
賀建奎回應質疑：經(jīng)費從哪來？是否會對自己孩子做實驗？
2018-11-28 14:22 醫(yī)學 -
別再捧殺華為了！簽下德國6400億中東2700億5G訂單純屬瞎扯！
2018-11-28 13:23 華為 -
科技早報|被指廣告欺詐獵豹移動暴跌32% 蘋果再減零部件訂單
2018-11-28 10:59 -
“洞察號”登陸火星 搭載26萬中國人姓名
2018-11-27 15:47 科技前沿 -
龐巴迪將出售沖-8渦槳飛機項目
2018-11-27 13:53 航空航天 -
WhatsApp首席業(yè)務官離職 臉書近期連失5位高管
2018-11-27 12:26 大公司 -
技術發(fā)明人呼吁：停止“制造”基因編輯嬰兒
2018-11-27 11:41 醫(yī)學 -
科技早報|金立劉立榮承認賭輸十幾億 英議會強制扣下臉書內(nèi)部文件
2018-11-27 11:31 -
深圳科創(chuàng)委回應“基因編輯嬰兒”：并未資助
2018-11-27 07:07 -
美“洞察”號無人探測器成功登陸火星
2018-11-27 06:55 航空航天 -
賀建奎是誰？“聰明瘋狂天才”
2018-11-26 18:54 醫(yī)學 -
122位科學家聯(lián)合譴責：對中國生物醫(yī)學聲譽的巨大打擊
2018-11-26 18:49 醫(yī)學
相關推薦 -
-
加拿大“軟”了，特朗普“退”了… 評論 24
菲總統(tǒng)馬科斯首次發(fā)聲 評論 243
“迫害！這是公然侮辱菲律賓主權” 評論 402
“聽到這些機器人來自中國，他們常感到驚訝” 評論 79最新聞 Hot-
加拿大“軟”了，特朗普“退”了…
-
市場急壞了！特朗普不語，只一味地“上鏈接”自夸
-
美政府官網(wǎng)被“屠版”：真對中國船這么干，“絕不用美國船運貨”
-
菲總統(tǒng)馬科斯首次發(fā)聲
-
伊朗總統(tǒng)：威脅我？你愛咋樣就咋樣
-
“中國比過去更從容，會對美國說：咱們走著瞧”
-
被中方反制敲醒了：討好美國整中國，沒好果子吃
-
特朗普不給豁免，澳總理“認慫”
-
美官方披露：華盛頓撞機同類險情3年15000起
-
特朗普放狠話：對特斯拉施暴就是國內(nèi)恐怖主義
-
涉案貨值近百萬元！杭州一地集中銷毀假冒品牌箱包、服裝、煙酒
-
鄭州雙層巴士過隧道因超高被削車頂，官方通報
-
哈佛宣布：暫停招聘教職員工
-
美媒急了：為何美國總是輸給中國？
-
已談4小時，俄方表態(tài)
-
我國首個商業(yè)航天發(fā)射場具備雙工位發(fā)射能力
-
Copyright ? 2014-2024 觀察者 All rights reserved。
滬ICP備10213822號-2 互聯(lián)網(wǎng)新聞信息服務許可證：31220170001
網(wǎng)登網(wǎng)視備（滬）02020000041-1號 互聯(lián)網(wǎng)宗教信息服務許可證：滬（2024）0000009
廣播電視節(jié)目制作經(jīng)營許可證：（滬）字第03952號
增值電信業(yè)務經(jīng)營許可證：滬B2-20210968 違法及不良信息舉報電話：021-62376571
滬公網(wǎng)安備 31010502000027號
中國互聯(lián)網(wǎng)舉報中心
上海市互聯(lián)網(wǎng)違法與不良信息舉報中心
