來源：TechNews科技新報(bào)

就在臺(tái)積電與三星陸續(xù)將晶圓制造先進(jìn)制程推向7納米節(jié)點(diǎn)之際，全球半導(dǎo)體設(shè)備大廠艾司摩爾（ASML）也表示，在2018年預(yù)計(jì)出貨總共18臺(tái)極紫外光光刻機(jī)（EUV）之后，2019年更將把出貨量提升到30臺(tái)。而且，還將在2019年下半年推出效能較前一代EUV提升24%的全新機(jī)款，以逐步滿足市場(chǎng)需求。

ASML明年出貨30臺(tái)EUV光刻機(jī) 新一代設(shè)備效能提升24%

根據(jù)ASML日前所公布的2018年第3季財(cái)報(bào)指出，該季營(yíng)收達(dá)到27.8億歐元，其中，設(shè)備銷售營(yíng)收為20.81億歐元，安裝管理服務(wù)等業(yè)務(wù)營(yíng)收達(dá)6.95億歐元，數(shù)字較第2季成長(zhǎng)13.4%，較2017年同期也成長(zhǎng)1%。毛利率達(dá)到了48.1%，相較第2季增加5.2個(gè)百分點(diǎn)，較2017年同期也增加了4.8個(gè)百分點(diǎn)。

以EUV的銷售情況來看，ASML在第3季總共出貨了5臺(tái)EUV，而第2季則是出貨7臺(tái)EUV，在預(yù)計(jì)第4季還將出貨6臺(tái)EUV的情況下，全年總計(jì)將出貨的數(shù)量將達(dá)到18臺(tái)，還預(yù)計(jì)2019年EUV的出貨數(shù)量將放大到30臺(tái)。

另外，而在EUV的銷售中，韓國(guó)公司占銷售金額比重33%，中國(guó)臺(tái)灣公司占比為30%，而中國(guó)大陸公司的銷售占比則為18%。這樣的數(shù)字，相較第2季的情況，韓國(guó)公司下降2個(gè)百分點(diǎn)，中國(guó)臺(tái)灣公司則是提升了12百分點(diǎn)，中國(guó)大陸公司則是下跌1個(gè)百分點(diǎn)。

而就2019年整體EUV預(yù)估出貨的情況來分析，除了EUV出貨數(shù)量將大幅成長(zhǎng)之外，ASML在2019年下半年還將推出效能進(jìn)一步強(qiáng)化的NXE:3400C型EUV光刻機(jī)，其每小時(shí)處理的晶圓數(shù)量（WPH）將能達(dá)到155片，較目前的NXE:3400B型EUV光刻機(jī)的WPH能達(dá)成125片的效能來說，NXE:3400C型的產(chǎn)能預(yù)計(jì)將提升24%，這對(duì)改善EUV制程的產(chǎn)能將很有幫助。

不過，雖然將推出新一代NXE:3400C型EUV光刻機(jī)，其效能較上一代EUV能提升24%。但是，要全面取代傳統(tǒng)的氟化氬（ArF）沉浸式光刻機(jī)，可能還有一段時(shí)間。

因?yàn)?，即便新一代NXE:3400C型EUV光刻機(jī)能達(dá)到155 WPH的產(chǎn)能，但是相較現(xiàn)在的（ArF）沉浸式光刻機(jī)產(chǎn)能可達(dá)250 WPH來說，EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能還有一大段距離要努力。所以，要全面取代目前仍為時(shí)尚早。