（文/觀察者網 呂棟）去年底公開其“5nm刻蝕機已獲臺積電認可”的中微公司，已經獲得批量訂單。

在中微公司（688012.SH）日前發(fā)布的2019年財報中，相比于108%的凈利潤增速，更值得關注的是其透露：“根據先進集成電路廠商的需求，已開發(fā)出5nm刻蝕設備用于若干關鍵步驟的加工，并已獲得行業(yè)領先客戶的批量訂單。”

目前，5nm制程是集成電路制造領域最先進的工藝，雖然三星和臺積電均宣稱已掌握該工藝，但現(xiàn)在已量產出貨的僅后者一家，并計劃在二季度放量。

對5nm產能的爭奪異常激烈。觀察者網此前報道，由于海思調降向臺積電的5nm訂單，相關產能已被蘋果“盡數吃掉”。后者還要求臺積電今年第四季度追加近1萬片產能，與AMD等爭奪5nm產能。

中微公司招股書截圖

除此之外，中微公司還公開稱，其電容性等離子體介質刻蝕設備已應用于64層閃存器件的量產，正在開發(fā)新一代涵蓋128層和更先進關鍵刻蝕應用的刻蝕設備和工藝。

而長江存儲早在2018年已成為中微公司第三大客戶，當時，前者占其營收比重為11%。

值得注意的是，雖然中微公司的刻蝕設備已在國際市場擁有一席之地，但全球半導體設備市場目前仍由國外廠商主導，行業(yè)呈現(xiàn)高度壟斷的競爭格局，2018年前五大廠商占據的市場份額超過65%。

在2019年業(yè)績說明會上，中微公司董事長尹志堯坦言：對于一些最高端的刻蝕應用，其刻蝕機還有不足的地方，還需進一步技術創(chuàng)新和設備的升級，該公司正在開發(fā)新一代的刻蝕機。

自去年7月登陸科創(chuàng)板以來，中微公司股價漲幅達97%接近翻倍，市值840億元。今日中微公司收跌2.34%，報155.96元/股。

“5nm刻蝕設備獲領先客戶批量訂單”

觀察者網梳理發(fā)現(xiàn)，在集成電路產業(yè)中，設備主要包括晶圓制造設備、封裝設備和測試設備等，其中晶圓制造設備的市場規(guī)模占比超過集成電路設備整體市場規(guī)模的80%。

而晶圓制造設備從類別上講可以分為刻蝕、光刻、薄膜沉積、檢測、涂膠顯影等十多類，其合計投資總額通常占整個晶圓廠投資總額的75%左右，其中刻蝕設備、光刻設備、薄膜沉積設備是集成電路前道生產工藝中最重要的三類設備，三者分別占晶圓制造設備價值量的24%、23%和18%。

中微公司招股書截圖

2019年財報顯示，中微公司等離子體刻蝕設備已用在國內外廠商55nm到5nm的眾多芯片生產線上。

據中微公司介紹，根據先進集成電路廠商的需求，其已開發(fā)出5納米刻蝕設備用于若干關鍵步驟的加工，并已獲得行業(yè)領先客戶的批量訂單。其目前正在配合客戶需求，開發(fā)新一代刻蝕設備和包括更先進大馬士革在內的刻蝕工藝，能夠涵蓋5納米以下刻蝕需求和更多不同關鍵應用的設備。

2019年財報截圖

值得注意的是，目前公開稱掌握5nm制程的僅有臺積電和三星兩家。

臺積電5nm工藝目前已量產出貨，第二季度將擴大生產；三星預計今年6月底左右完成5nm產線建設，量產時間要等到今年底或明年初。

圖自富途證券

事實上，早在2018年底，中微公司就曾對外透露，其自主研發(fā)的5nm等離子體刻蝕機經臺積電驗證，性能優(yōu)良，將用于后者的全球首條5nm制程生產線。

值得一提的是，中微公司也是唯一進入臺積電7nm制程蝕刻設備的大陸半導體設備商。根據公開報道，該公司與臺積電在28nm制程時便已開始合作，并一直延續(xù)到10nm和7nm制程。

中微公司曾在招股書中介紹，由于其開發(fā)出與美國設備公司具有同等質量和相當數量的等離子體刻蝕設備并實現(xiàn)量產，美國商務部在2015年宣布解除了對中國等離子體刻蝕設備多年的出口管制。

因此，也有部分自媒體借此炒作其董事長為“中國最強牛人”。

該公司此前回應指出，個別媒體虛構部分不實情節(jié)并冠以夸張的標題，該等不實的內容在集成電路業(yè)界產生了較大的負面影響，同時也使其業(yè)務開展及其董事長尹志堯個人受到困擾。

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