【觀察者網(wǎng) 綜合報道】據(jù)《科技日報》6日報道，純度要求達到99.999999999％的電子級多晶硅終于量產(chǎn)。這標志著我國半導體集成電路用硅料已經(jīng)達到國際一流質(zhì)量標準，也是我國多晶硅制造企業(yè)首次向國際市場出口集成電路用高純度硅料。

《科技日報》記者6日從江蘇鑫華半導體材料科技有限公司獲悉，經(jīng)過一系列嚴格的驗證、檢測，近日一批集成電路用高純度硅料出口韓國，同時也向國內(nèi)部分晶圓加工廠批量供貨。

電子級多晶硅材料是集成電路的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，過去中國市場上的集成電路用多晶硅材料基本完全依賴進口。電子級多晶硅是純度最高的多晶硅材料。

相對于太陽能級多晶硅99.9999％純度，電子級多晶硅的純度要求達到99.999999999％。5000噸的電子級多晶硅中總的雜質(zhì)含量相當于一枚1元硬幣的重量。

據(jù)徐州發(fā)布消息，江蘇鑫華半導體材料科技有限公司總經(jīng)理田新表示，鑫華半導體研發(fā)團隊歷經(jīng)317次電子級多晶硅生產(chǎn)試驗，用一年多時間，對629項技術(shù)、設(shè)備優(yōu)化改進，以70%的國產(chǎn)設(shè)備，系統(tǒng)性解決了雜質(zhì)釋放問題，實現(xiàn)了原料端徹底祛除和控制雜質(zhì)，并且全球首創(chuàng)采用自動化無接觸硅料處理系統(tǒng)。

電子級多晶硅棒

鑫華半導體材料科技有限公司副總經(jīng)理張曉東表示，中國是世界最大電子產(chǎn)品制造國，每年對集成電路器件及芯片需求巨大，但幾十年來基本依賴歐美日進口。鑫華電子級多晶硅的自主生產(chǎn)，標志著我國電子級多晶硅突破海外多年技術(shù)封鎖，填補國家集成電路產(chǎn)業(yè)專項一項空白。

他說：“鑫華電子級多晶硅的投產(chǎn)，不僅將打破國外技術(shù)、市場壟斷，填補國內(nèi)半導體級原材料生產(chǎn)的空白，鑫華公司也將成為繼美國Hemlock、德國Wacker之后全球第三大半導體硅材料生產(chǎn)商。”

2015年12月，鑫華半導體由國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資，建設(shè)國內(nèi)首條5000噸半導體集成電路專用電子級多晶硅生產(chǎn)線。去年11月8日協(xié)鑫旗下鑫華半導體正式發(fā)布電子級多晶硅產(chǎn)品。

鑫華半導體公司第一條生產(chǎn)線的產(chǎn)能為5000噸，可保證國內(nèi)企業(yè)三至五年內(nèi)電子級多晶硅不會缺貨，產(chǎn)品質(zhì)量滿足40nm及以下極大規(guī)模集成電路用12英寸單晶制造需求。同時，還將規(guī)劃再上一條5000噸生產(chǎn)線，以更好地滿足國際國內(nèi)市場。

《中國能源報》此前報道稱，我國電子級多晶硅的研制始于二十世紀五十年代，六十年代中期進入批量生產(chǎn)，至七十年代末改良西門子法的生產(chǎn)技術(shù)、工藝已臻成熟。

那時盡管生產(chǎn)規(guī)模小，設(shè)備簡陋，但因當時國內(nèi)需求少，生產(chǎn)的產(chǎn)品基本能夠滿足國內(nèi)需求。此后由于國內(nèi)產(chǎn)量不足、質(zhì)量不穩(wěn)定等原因，我國開始大量進口電子級多晶硅。

從進口數(shù)據(jù)分析，2013年至2017年，我國多晶硅進口數(shù)量從80653噸逐年攀升至144000噸。2014年，國務(wù)院簽發(fā)了《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》，同時成立了國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金，電子級多晶硅迎來重大利好。

從近十年的發(fā)展狀況來看，雖然多晶硅在我國得到長足發(fā)展，但高品質(zhì)多晶硅仍然需要進口。進口數(shù)據(jù)中所有的分立器件、集成電路用多晶硅和高效光伏電池用多晶硅全部進口，國內(nèi)高品質(zhì)多晶硅缺口仍然巨大。

報道稱，有專家研判，國內(nèi)電子級多晶硅的需求是4500噸/年。