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央視探訪國產(chǎn)芯片光刻區(qū)：國產(chǎn)芯片給雷達(dá)裝上最強(qiáng)大腦

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2021-11-19 09:05:59 字號：A- A A+ 來源：@央視軍事

最后更新: 2021-11-19 14:05:45

中央電視臺國防軍事頻道近日探訪國產(chǎn)芯片光刻區(qū)，帶來現(xiàn)場報道。

視頻內(nèi)容：

光刻工藝使用的光刻膠，它是一種光敏材料，不能輕易地暴露在有紫外線的環(huán)境里，而這種黃光就是不含紫外線的。

我身邊這臺機(jī)器是勻膠機(jī)，可以看到滴管正在把光刻膠滴在基片的中心，然后基片飛速旋轉(zhuǎn)，利用離心力把多余的光刻膠甩出，再把邊上較厚的膠洗除，使膠體均勻的附著在表面，這個過程有點像是攤煎餅一樣。在此之后紫外線就有了用武之地，剛才旋涂完光刻材料，并且軟烘之后的基片就會被送到箱體里面來進(jìn)行光刻。

光刻工藝是利用類似照相制版的原理，在基片表面上刻蝕精細(xì)圖形的表面加工技術(shù)，也就是說它使用紫外線把電路圖投影“印刷”到覆蓋有感光材料的基片表面，基片經(jīng)過光刻之后還要放到顯影液里面，就像是我們洗照片一樣，溶解發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)的光刻膠。

電路就是這樣被一層一層的印刷上去，隨著集成電路所包含的器件越來越多，要求單個器件尺寸及其間隔越來越小，所以光刻所能分辨的最小線條寬度也標(biāo)志著集成電路的工藝水平。

我們大膽創(chuàng)新，探索出一條獨具特色的高集成、射頻微組裝工藝技術(shù)路線，使T/R組件產(chǎn)品體積大幅縮減至傳統(tǒng)產(chǎn)品的十分之一到二十分之一，實現(xiàn)了輕小型化量產(chǎn)，有力地支撐了裝備小型化的發(fā)展趨勢。
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