4、設(shè)備材料業(yè)

在設(shè)備材料領(lǐng)域，上海市同樣在我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)寫(xiě)下重要篇章。

《2018年上海集成電路產(chǎn)業(yè)白皮書(shū)》顯示，2017年上海集成電路產(chǎn)業(yè)設(shè)備材料業(yè)也利潤(rùn)增幅高達(dá)95.7%，其中設(shè)備業(yè)2017年實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售收入82.68億元，同比增長(zhǎng)111.9%。

白皮書(shū)指出，上海設(shè)備材料制造業(yè)已經(jīng)走出初創(chuàng)階段的發(fā)展路程，成功進(jìn)入到“產(chǎn)品進(jìn)入市場(chǎng)，市場(chǎng)引領(lǐng)企業(yè)；研發(fā)帶動(dòng)創(chuàng)新，創(chuàng)新推進(jìn)發(fā)展”的雙邊發(fā)展新階段。

上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)的最新數(shù)據(jù)，2018年上半年上海市集成電路設(shè)備材料業(yè)的銷(xiāo)售收入為69.6億元，占產(chǎn)業(yè)鏈比重為13.40%。

雖然營(yíng)收和占比均不及其他三業(yè)，但上海市設(shè)備材料業(yè)在國(guó)內(nèi)的影響力可不小。上海市擁有中微半導(dǎo)體、上海微電子裝備、盛美半導(dǎo)體、上海凱世通等國(guó)內(nèi)知名設(shè)備廠商，以及上海新陽(yáng)、上海新昇、上海安集微電子、上海新傲科技等一眾材料企業(yè)。

其中，中微半導(dǎo)體是國(guó)內(nèi)技術(shù)最領(lǐng)先的集成電路設(shè)備企業(yè)之一，主要深耕刻蝕機(jī)領(lǐng)域，研制出中國(guó)大陸第一臺(tái)電介質(zhì)刻蝕機(jī)，目前中微半導(dǎo)體的介質(zhì)刻蝕設(shè)備、硅通孔刻蝕設(shè)備、MOCVD設(shè)備等均已成功進(jìn)入海內(nèi)外重要客戶供應(yīng)體系，如其介質(zhì)刻蝕設(shè)備已打入臺(tái)積電的7nm、10nm量產(chǎn)線，成功打破了國(guó)際巨頭的壟斷。

目前中微半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)化率已超過(guò)35%，已開(kāi)發(fā)了20多個(gè)國(guó)內(nèi)的反應(yīng)器和系統(tǒng)主機(jī)加工等供應(yīng)廠商，加工能力和質(zhì)量達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平，截至2017年底，已有620多個(gè)中微半導(dǎo)體生產(chǎn)的刻蝕反應(yīng)臺(tái)運(yùn)行在海內(nèi)外39條先進(jìn)生產(chǎn)線上。

再如上海微電子裝備，同樣是國(guó)內(nèi)不可忽視的集成電路設(shè)備廠商。上海微電子裝備是國(guó)內(nèi)少數(shù)光刻機(jī)生產(chǎn)商之一，其生產(chǎn)的光刻機(jī)包括晶圓制造、IC封裝、面板、LED等，其中封裝光刻機(jī)在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)已占據(jù)不小的份額，是國(guó)內(nèi)技術(shù)最先進(jìn)的光刻機(jī)研制生產(chǎn)單位。

上海微電子裝備“十五”期間承擔(dān)了國(guó)家863重大科技專(zhuān)項(xiàng)任務(wù)掃描投影光刻機(jī)的研制任務(wù)，“十一五”和“十二五”期間被國(guó)家確定為02專(zhuān)項(xiàng)高端掃描投影光刻機(jī)研制和先進(jìn)封裝光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)化的承擔(dān)單位，其首臺(tái)先進(jìn)封裝光刻機(jī)于2009年實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售，上海微電子目前可生產(chǎn)加工90nm工藝制程芯片的光刻機(jī)，這是目前國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)最高水平。

目前，上海微電子裝備正在承擔(dān)國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)02專(zhuān)項(xiàng)在“十三五”期間的標(biāo)志性項(xiàng)目“28nm節(jié)點(diǎn)浸沒(méi)式分步重復(fù)投影光刻機(jī)研發(fā)成功并實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化”等。

材料領(lǐng)域，上海新昇是國(guó)內(nèi)首個(gè)300mm大硅片項(xiàng)目的承擔(dān)主體，目前其正片已通過(guò)了華力微電子的認(rèn)證并實(shí)現(xiàn)每月2000片的銷(xiāo)售，項(xiàng)目計(jì)劃總產(chǎn)能為60萬(wàn)片每月，預(yù)計(jì)今年年底將達(dá)月產(chǎn)能10萬(wàn)片。

相信業(yè)內(nèi)人士均有所了解，我國(guó)在300mm大硅片領(lǐng)域基本空白、完全依賴(lài)進(jìn)口，上海新昇作為300mm大硅片國(guó)產(chǎn)化的排頭兵，該項(xiàng)目的建設(shè)及量產(chǎn)出售等均對(duì)于國(guó)內(nèi)集成電路材料業(yè)具有較大意義。

三、人才建設(shè)體系

作為我國(guó)較早發(fā)展且產(chǎn)業(yè)鏈最完整的集成電路城市，上海已建立了較為完整的集成電路人才教育及培訓(xùn)體系。

上海市擁有復(fù)旦大學(xué)、上海交通大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、華東師范大學(xué)、上海大學(xué)等一眾高等院校，其中復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院是首批國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地之一、國(guó)家集成電路人才國(guó)際培訓(xùn)（上海）基地，具有豐富的集成電路人才培養(yǎng)經(jīng)驗(yàn)和雄厚的產(chǎn)學(xué)聯(lián)合基礎(chǔ)；

上海交通大學(xué)微電子學(xué)院同樣是首批國(guó)家集成電路人才培養(yǎng)基地之一，承擔(dān)了國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)、國(guó)防重點(diǎn)、科技863重點(diǎn)項(xiàng)目等多個(gè)科研項(xiàng)目，形成了以系統(tǒng)級(jí)芯片設(shè)計(jì)、模擬與射頻芯片設(shè)計(jì)為主的兩個(gè)重點(diǎn)學(xué)科方向；

其他多個(gè)高等院校也設(shè)有集成電路相關(guān)專(zhuān)業(yè)及研究方向，如同濟(jì)大學(xué)有電子科學(xué)與技術(shù)系、超大規(guī)模集成電路研究所、微電子中心等院系與部門(mén)；華東師范大學(xué)有電子工程系，集中研究集成電路設(shè)計(jì)、新型半導(dǎo)體器件與材料和微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）；上海大學(xué)設(shè)有微電子研究與開(kāi)發(fā)中心，專(zhuān)門(mén)研究與開(kāi)發(fā)大規(guī)模集成電路設(shè)計(jì)、培養(yǎng)微電子學(xué)與固體電子學(xué)方向的碩士、博士人才等。

除了高等院校外，上海市還擁有上海集成電路研發(fā)中心、上海硅知識(shí)產(chǎn)權(quán)交易中心、上海集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)、上海集成電路技術(shù)與產(chǎn)業(yè)促進(jìn)中心、上海集成電路測(cè)試專(zhuān)業(yè)技術(shù)服務(wù)平臺(tái)等公共服務(wù)機(jī)構(gòu)。

這些公共服務(wù)平臺(tái)在積極推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)人才培訓(xùn)的同時(shí)，也與國(guó)內(nèi)外知名院?；蚱髽I(yè)合作建設(shè)人才培訓(xùn)機(jī)構(gòu)。

如上海集成電路研發(fā)中心與國(guó)際光刻機(jī)巨頭ASML在上海合作共建國(guó)內(nèi)第一個(gè)世界級(jí)光刻人才培訓(xùn)基地，今年5月已正式揭牌。上海集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)也聯(lián)手華虹集團(tuán)、上海硅知識(shí)產(chǎn)權(quán)交易中心，共同建設(shè)上海集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)高技能人才培養(yǎng)基地……

四、政策與基金

上海市集成電路產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展，離不開(kāi)政府的政策推動(dòng)及基金支持。

2000年，上海市政府發(fā)布《關(guān)于本市鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策規(guī)定》，政策通過(guò)稅收優(yōu)惠、補(bǔ)貼獎(jiǎng)勵(lì)等多種方式鼓勵(lì)發(fā)展軟件及集成電路。

隨后2012年，上海市政府印發(fā)《關(guān)于本市進(jìn)一步鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》，隨后浦東新區(qū)人民政府也發(fā)布了《進(jìn)一步鼓勵(lì)產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》，進(jìn)一步擴(kuò)大產(chǎn)業(yè)政策的優(yōu)惠范圍和獎(jiǎng)勵(lì)力度。

2017年，上海市政府再次發(fā)布《關(guān)于本市進(jìn)一步鼓勵(lì)軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干政策》，這是在2012年發(fā)布的政策基礎(chǔ)上，進(jìn)一步聚焦支持上海集成電路領(lǐng)域重大項(xiàng)目建設(shè)、自主創(chuàng)新技術(shù)研發(fā)、企業(yè)培育和專(zhuān)業(yè)人才培養(yǎng)及引進(jìn)等方面。

上海市政府還編制并發(fā)布了《軟件和集成電路專(zhuān)項(xiàng)資金管理》、《上海集成電路工程產(chǎn)品首輪流片專(zhuān)項(xiàng)獎(jiǎng)勵(lì)實(shí)施細(xì)則》等相關(guān)配套實(shí)施細(xì)則。

在相關(guān)政策接踵出臺(tái)的同時(shí)，2016年年底上海集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金成立，基金總規(guī)模500億元，分為100億元的裝備材料基金、100億元的設(shè)計(jì)基金、300億元的制造基金。

2017年7月，繼100億設(shè)計(jì)業(yè)并購(gòu)基金和300億制造業(yè)基金之后 ，總規(guī)模100億元的上海集成電路裝備材料基金正式簽約，這標(biāo)志著上海500億元集成電路產(chǎn)業(yè)基金工作已全面啟動(dòng)。

五、小結(jié)

整體上看，相較于江蘇省的封測(cè)先行、深圳的設(shè)計(jì)為優(yōu)，上海更注重謀求產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的完整均衡，就國(guó)內(nèi)各大城市而言，上海集成電路產(chǎn)業(yè)鏈最為完備，產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)環(huán)節(jié)均有所亮點(diǎn)，且無(wú)明顯短板，這樣的均衡發(fā)展助力產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)間的協(xié)同聯(lián)動(dòng)，形成較好的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

如今全國(guó)范圍內(nèi)掀起集成電路發(fā)展熱潮，上海市集成電路產(chǎn)業(yè)經(jīng)過(guò)十年輝煌及近年來(lái)的穩(wěn)定發(fā)展期后，未來(lái)的3~5年或?qū)⒂瓉?lái)重大發(fā)展機(jī)遇和轉(zhuǎn)型，有望朝著更大規(guī)模、更具創(chuàng)新性、更具引領(lǐng)作用等方向突破。

根據(jù)《上海促進(jìn)電子信息制造業(yè)發(fā)展“十三五”規(guī)劃》，上海市的目標(biāo)是力爭(zhēng)2020年集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模達(dá)到2000億元，將通過(guò)提升產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略，塑造設(shè)計(jì)、制造、裝備材料三大支柱，拓展產(chǎn)業(yè)發(fā)展模式，打造IDM模式的產(chǎn)業(yè)第三極等發(fā)展手段，推進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展。