【文/觀察者網(wǎng) 呂棟】“中國(guó)不太可能獨(dú)立復(fù)制（replicate）出頂尖的光刻技術(shù)，因?yàn)榘⑺果溡蕾囉诓恍傅膭?chuàng)新，以及整合只有從非中國(guó)供應(yīng)商處才能獲得的零部件。但我的意思并不是絕對(duì)不可能，因?yàn)橹袊?guó)的物理定律和我們這里是一樣的。永遠(yuǎn)別那么絕對(duì)（Never say never），他們肯定會(huì)嘗試的?！碑?dāng)?shù)貢r(shí)間1月19日，荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥（ASML）CEO溫彼得（Peter Wennink）表示。

光刻機(jī)是芯片制造核心設(shè)備，也是研發(fā)難度最大的半導(dǎo)體設(shè)備。目前，阿斯麥壟斷著全球頂尖光刻機(jī)市場(chǎng)，該公司也因此被美國(guó)視為圍堵中國(guó)大陸芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“政治棋子”。而溫彼得在做出上述表述的同時(shí)還透露，阿斯麥尚未獲得向中國(guó)大陸出口最先進(jìn)光刻機(jī)的許可，但一些生產(chǎn)成熟制程的光刻機(jī)出口并不受限制。

CINNO Research半導(dǎo)體事業(yè)部總經(jīng)理Elvis Hsu在接受觀察者網(wǎng)采訪時(shí)表示，光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造設(shè)備價(jià)格占比最高的部分，約25-30%。其研發(fā)難點(diǎn)在于曝光光源、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)和透光鏡頭等技術(shù)的整合，以及龐大資金投入。目前國(guó)內(nèi)技術(shù)領(lǐng)先的光刻機(jī)研制廠家是上海微電子，可以穩(wěn)定生產(chǎn)90/65nm制造工藝的光刻機(jī)。

路透社報(bào)道截圖

剛過(guò)去的2021年是全球芯片短缺最嚴(yán)重的一年，作為半導(dǎo)體制造關(guān)鍵設(shè)備提供商，阿斯麥1月19日也拿出一份亮眼業(yè)績(jī)。財(cái)報(bào)顯示，阿斯麥2021年總營(yíng)收為186億歐元（約合人民幣1339億元），同比增長(zhǎng)33%；凈利潤(rùn)為59億歐元（約合人民幣425億元），同比增長(zhǎng)66%；毛利率為53%，比上年同期提高4個(gè)百分點(diǎn)。

阿斯麥CEO溫彼得表示，2021年?duì)I收中有63億歐元來(lái)自42個(gè)EUV系統(tǒng)（極紫外光刻機(jī)）訂單，比上年多11個(gè)。該公司在過(guò)去一年經(jīng)歷許多挑戰(zhàn)，市場(chǎng)需求比最大產(chǎn)能高出40%至50%。為提高對(duì)客戶的支持，該公司選擇縮短周期以運(yùn)送更多設(shè)備，主要通過(guò)快速發(fā)貨流程跳過(guò)工廠的一些測(cè)試，并在客戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行最終測(cè)試和正式驗(yàn)收。雖然這會(huì)使收入確認(rèn)推遲到客戶正式驗(yàn)收前，但能幫助客戶提早進(jìn)行晶圓生產(chǎn)。

增加員工數(shù)量，也成為阿斯麥應(yīng)對(duì)需求增長(zhǎng)的方法。溫彼得表示，該公司計(jì)劃在今年年底前將員工人數(shù)從目前的3.15萬(wàn)人增加到3.5萬(wàn)人。他透露，該公司在2021年凈增加4000多名新員工，到2022年底，員工人數(shù)將比2020年底增加近30%。不過(guò)，溫彼得表示，該公司可能需要兩到三年才能實(shí)現(xiàn)供需平衡。隨著新工廠的建設(shè)，到2025年或2026年，全球半導(dǎo)體行業(yè)甚至可能出現(xiàn)“某種程度的供過(guò)于求”。

單從四季度來(lái)看，阿斯麥實(shí)現(xiàn)營(yíng)收50億歐元，凈利潤(rùn)18億歐元，毛利率達(dá)到54.2%；新增訂單金額71億歐元。期內(nèi)，該公司共出貨82臺(tái)光刻系統(tǒng)，環(huán)比上季度增加3臺(tái)；其中EUV光刻系統(tǒng)11臺(tái)，比上個(gè)季度減少4臺(tái)；在所有出貨中，73%光刻機(jī)被用于邏輯工藝制造，27%的光刻機(jī)用于存儲(chǔ)芯片生產(chǎn)。

阿斯麥2021年四季度財(cái)報(bào)截圖

從出貨地來(lái)看，中國(guó)臺(tái)灣依然是阿斯麥的最大市場(chǎng)，四季度有51%的光刻系統(tǒng)發(fā)往當(dāng)?shù)?，占比環(huán)比提升5個(gè)百分點(diǎn)；韓國(guó)是該公司第二大市場(chǎng)，同期有27%的光刻系統(tǒng)發(fā)往當(dāng)?shù)?，占比環(huán)比下降6個(gè)百分點(diǎn)；中國(guó)大陸是阿斯麥第三大市場(chǎng)，四季度有22%的光刻系統(tǒng)向當(dāng)?shù)爻鲐?，占比提?2個(gè)百分點(diǎn)。2021年三季度，美國(guó)和日本分別在阿斯麥出貨中占比10%和1%，但四季度占比均意外降為0，具體原因尚不清楚。

阿斯麥光刻機(jī)出貨信息

過(guò)去幾年，阿斯麥一直在研發(fā)高數(shù)值孔徑（0.55 NA）EUV光刻機(jī)。這種EUV光刻機(jī)采用最新的光學(xué)設(shè)計(jì)，具有更高的分辨率（由13nm升級(jí)到8nm），可以使芯片面積縮小1.7倍，晶體管密度增加2.9倍。與目前的0.33 NA EUV光刻機(jī)相比，0.55 NA光刻機(jī)可以顯著提高良率、降低成本和縮短生產(chǎn)周期。當(dāng)然，0.55 NA光刻機(jī)的價(jià)格也相當(dāng)昂貴，每臺(tái)售價(jià)約為3億美元（約合人民幣19億元），比0.33 NA光刻機(jī)售價(jià)高出一倍。

目前，臺(tái)積電等生產(chǎn)7nm-5nm制程的芯片采用的都是0.33 NA EUV光刻機(jī)，而第一代0.55 NA光刻機(jī)TWINSCAN EXE：5000還在研發(fā)過(guò)程中，預(yù)計(jì)2023年上市。早在2018年，英特爾就率先向阿斯麥下單第一代0.55 NA EUV光刻機(jī)，該公司也有望成為首個(gè)0.55 NA EUV光刻機(jī)的使用者，并將其用于3nm及以下制程。

阿斯麥NXE3400型EUV光刻機(jī)（0.33 NA） 圖源：阿斯麥官網(wǎng)

在本次披露財(cái)報(bào)時(shí)，阿斯麥透露，該公司在2021年四季度收到一份TWINSCAN EXE：5000光刻機(jī)訂單，累計(jì)訂單達(dá)到5份。與此同時(shí)，該公司還在2022年初收到下一代高數(shù)值孔徑EUV光刻機(jī)TWINSCAN EXE:5200的首份訂單，下單的還是英特爾。從路線圖來(lái)看，TWINSCAN EXE：5200預(yù)計(jì)最快2024年底投入使用，2025年開(kāi)始大規(guī)模應(yīng)用于2nm甚至以下先進(jìn)制程的生產(chǎn)。國(guó)外曾有分析師直言，“我敢打賭，英特爾為這一權(quán)利花了很多錢，因?yàn)樗隙ú皇俏ㄒ幌胂鹊玫竭@種機(jī)器的公司”。

圖源：阿斯麥

展望新一年的業(yè)績(jī)，阿斯麥預(yù)計(jì)其2022年一季度銷售收入約為33億-35億歐元，環(huán)比下滑30%-34%。溫彼得對(duì)此解釋稱，由于大量的快速出貨，約有20億歐元的預(yù)期收入將從第一季度轉(zhuǎn)移到后續(xù)季度，這也是該公司一季度預(yù)期銷售額較低的原因?？v觀全年，即使考慮到目前6個(gè)EUV系統(tǒng)的快速出貨相關(guān)收入將轉(zhuǎn)移至2023年，該公司2022年的營(yíng)收增長(zhǎng)仍將達(dá)20%左右。

但這個(gè)說(shuō)法遭到中國(guó)臺(tái)灣半導(dǎo)體分析師陸行之的質(zhì)疑。他提到，2021年四季度，阿斯麥存儲(chǔ)器芯片用光刻機(jī)營(yíng)收占比環(huán)比下滑12個(gè)百分點(diǎn)，同期確認(rèn)收入的EUV也低于原預(yù)期，或許是韓國(guó)三星、海力士因?yàn)镈RAM（動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器）合約價(jià)格下滑，要求延遲付EUV的款項(xiàng)給阿斯麥。因?yàn)榧热皇强焖俪鲐?，理論上?yīng)該也是快速或準(zhǔn)時(shí)付款，但現(xiàn)在阿斯麥快速出貨卻被延遲付款，怎么解釋都顯得很奇怪。

臺(tái)媒報(bào)道截圖

在發(fā)布本次財(cái)報(bào)前，阿斯麥柏林工廠曾發(fā)生火災(zāi)。TrendForce集邦咨詢向觀察者網(wǎng)提供的一份報(bào)告顯示，阿斯麥德國(guó)柏林工廠火災(zāi)對(duì)晶圓代工及存儲(chǔ)器而言，將可能對(duì)EUV光刻機(jī)設(shè)備制造產(chǎn)生較大影響。而根據(jù)該機(jī)構(gòu)掌握的信息，阿斯麥所需的零部件亦不排除通過(guò)其他廠區(qū)取得，加上目前EUV設(shè)備交期相當(dāng)長(zhǎng)，因此實(shí)際對(duì)EUV供應(yīng)的影響仍有待觀察。而阿斯麥方面預(yù)計(jì)柏林火災(zāi)不會(huì)對(duì)其2022年的系統(tǒng)出貨產(chǎn)生重大影響。

從2018年開(kāi)始，阿斯麥就試圖向中國(guó)大陸銷售EUV光刻機(jī)，希望進(jìn)一步進(jìn)入中國(guó)大陸市場(chǎng)，但荷蘭政府一直未批準(zhǔn)其出口許可申請(qǐng)。在美國(guó)的持續(xù)施壓之下，這一請(qǐng)求已被荷蘭官員擱置。溫寧克在財(cái)報(bào)發(fā)布當(dāng)天表示，他擔(dān)心進(jìn)一步的出口限制，“我對(duì)任何政府采取的出口管制措施都感到擔(dān)憂。我們嚴(yán)重缺乏成熟的半導(dǎo)體技術(shù)，我們需要成熟的制造能力”。

“出口管制將加快中國(guó)自主研發(fā)，15年時(shí)間里他們將做出所有的東西”、“中國(guó)完全自主掌控供應(yīng)鏈之后，歐洲供應(yīng)商將徹底失去市場(chǎng)”，其實(shí)溫彼得去年4月就已經(jīng)公開(kāi)表達(dá)焦慮，但美國(guó)一直選擇視而不見(jiàn)。

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