【文/觀察者網(wǎng) 呂棟】在昨日（7月29日）A股反彈行情中，半導(dǎo)體概念齊掀漲停潮，其中光刻膠指數(shù)更是大漲近10%領(lǐng)跑所有板塊。光刻膠個(gè)股中，南大光電收漲20%，晶瑞股份收漲14%，上海新陽收漲11%。

昨天下午收盤后，南大光電發(fā)布公告稱，該公司承擔(dān)的國家02專項(xiàng)ArF光刻膠項(xiàng)目通過專家組驗(yàn)收，這種光刻膠可用于90nm-14nm甚至7nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路制造工藝，已建成年產(chǎn)25噸產(chǎn)業(yè)化基地。

不過，南大光電也提示風(fēng)險(xiǎn)稱，目前ArF光刻膠產(chǎn)品尚未實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)。ArF光刻膠的復(fù)雜性決定了其在穩(wěn)定量產(chǎn)階段仍然存在工藝上的諸多風(fēng)險(xiǎn)，后續(xù)是否能取得下游客戶的大批量訂單，能否大規(guī)模進(jìn)入市場仍存在較多的不確定性。

今天（7月30日）南大光電高開逾1%，隨后快速拉升，截至發(fā)稿漲幅擴(kuò)大至14.21%，市值325億元。

7月29日A股板塊漲幅情況

7月29日，南大光電公告披露，該公司作為牽頭單位，承擔(dān)的國家科技重大專項(xiàng)（02專項(xiàng)）“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”之“先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，收到極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝實(shí)踐管理辦公室下發(fā)的項(xiàng)目綜合績效評價(jià)結(jié)論書，項(xiàng)目通過了專家組驗(yàn)收。

南大光電公告截圖

在集成電路制造領(lǐng)域，不同波長光源的光刻機(jī)需要搭配相應(yīng)波長的光刻膠進(jìn)去光刻。目前半導(dǎo)體光刻膠最常使用曝光波長分類，主要有g(shù)線、i線、KrF、ArF和最先進(jìn)的EUV（極紫外）光刻膠。其中，DUV（深紫外）光刻機(jī)分為干法和浸潤式，所以ArF光刻膠也對應(yīng)分為干法和浸潤式兩類。越先進(jìn)制程相應(yīng)需要使用越短曝光波長光刻膠，以達(dá)到特征尺寸微小化。

根據(jù)公告，南大光電承擔(dān)的02專項(xiàng)光刻膠項(xiàng)目總體目標(biāo)是開發(fā)高端集成電路制造用ArF干式與浸沒式光刻膠成套工藝技術(shù)，形成規(guī)模化生產(chǎn)能力；構(gòu)建與集成電路行業(yè)國際先進(jìn)水平接軌的技術(shù)和管理人才團(tuán)隊(duì)，建立完善的技術(shù)開發(fā)、生產(chǎn)運(yùn)行、品質(zhì)管理、市場開拓運(yùn)行體系和ArF光刻膠產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展相應(yīng)的知識產(chǎn)權(quán)體系。

該項(xiàng)目分為三個(gè)子課題，其中南大光電控股子公司寧波南大光電材料有限公司 （下稱：寧波南大光電）承接的課題名為：ArF 光刻膠產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化（課題編號：2018ZX02402001）。該子課題主要在以下方面開展研究：

1、ArF光刻膠產(chǎn)品配方及工藝的開發(fā)；

2、配方關(guān)鍵組分材料的開發(fā)；

3、ArF光刻膠產(chǎn)品及關(guān)鍵組分的分析測試能力的研究；

4、ArF光刻膠的產(chǎn)業(yè)化研究。

公告中提到，ArF光刻膠材料可以用于90nm-14nm甚至7nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路制造工藝，廣泛應(yīng)用于高端芯片制造（如邏輯芯片、 存儲芯片、AI 芯片、5G 芯片和云計(jì)算芯片等）。長期以來， 國內(nèi)高端光刻膠市場長期為國外巨頭所壟斷，對國內(nèi)芯片制造具有“卡脖子” 風(fēng)險(xiǎn)。盡快實(shí)現(xiàn)先進(jìn)光刻膠材料的全面國產(chǎn)化和產(chǎn)業(yè)化，具有十分重要的戰(zhàn)略意義和經(jīng)濟(jì)價(jià)值。

南大光電表示，在項(xiàng)目驗(yàn)收過程中，專家組依據(jù)有關(guān)規(guī)定，聽取了該公司關(guān)于項(xiàng)目任務(wù)及財(cái)務(wù)執(zhí)行完成情況匯報(bào)、現(xiàn)場測試組的測試報(bào)告、用戶報(bào)告、審計(jì)報(bào)告及預(yù)算調(diào) 劑申請報(bào)告等，查閱了檔案資料，經(jīng)過質(zhì)詢和討論，一致認(rèn)定項(xiàng)目已經(jīng)完成了任務(wù)合同書中規(guī)定的各項(xiàng)考核指標(biāo)。專家組同意項(xiàng)目通過績效評價(jià)驗(yàn)收。

驗(yàn)收專家組認(rèn)為：

1、光刻膠是集成電路生產(chǎn)過程中的關(guān)鍵材料，通過本項(xiàng)目的實(shí)施，掌握了ArF干式和浸沒式系列光刻膠產(chǎn)品的原材料制備、配膠、分析檢測、應(yīng)用驗(yàn)證等關(guān)鍵技術(shù)，在知識產(chǎn)權(quán)和人才培養(yǎng)等方面取得重要進(jìn)展。

形成了由51人組成的ArF光刻膠研發(fā)與生產(chǎn)管理團(tuán)隊(duì)，建成了ArF光刻膠產(chǎn)品（包括干式和浸沒式）的質(zhì)量控制平臺、年產(chǎn)5噸的干式 ArF光刻膠及年產(chǎn)20噸的浸沒式ArF光刻膠產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線；建立了科研經(jīng)費(fèi)管理相關(guān)的財(cái)務(wù)制度，并能有效執(zhí)行；申請專利91項(xiàng)，其中國內(nèi)發(fā)明專利81項(xiàng)，國際發(fā)明專利4項(xiàng)，實(shí)用新型專利6項(xiàng)（已授權(quán)），制定團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)，研制新產(chǎn)品2項(xiàng)；實(shí)現(xiàn)ArF光刻膠產(chǎn)品銷售，完成了任務(wù)合同書規(guī)定的主要考核指標(biāo)。這是我國集成電路關(guān)鍵材料自主創(chuàng)新的一個(gè)重要成果。

2、寧波南大光電已建成年產(chǎn)25噸ArF光刻膠產(chǎn)業(yè)化基地，具備進(jìn)一步擴(kuò)大生產(chǎn)的能力，建議抓住機(jī)遇，盡快擴(kuò)產(chǎn)。

南大光電表示，項(xiàng)目研發(fā)任務(wù)的完成，預(yù)計(jì)將對該公司光刻膠事業(yè)的未來發(fā)展產(chǎn)生積極影響。

不過，公告中也提示風(fēng)險(xiǎn)稱，目前ArF光刻膠產(chǎn)品尚未實(shí)現(xiàn)規(guī)?；慨a(chǎn)。ArF光刻膠的復(fù)雜性決定了其在穩(wěn)定量產(chǎn)階段仍然存在工藝上的諸多風(fēng)險(xiǎn)，不僅需要技術(shù)攻關(guān)，還需要在應(yīng)用中進(jìn)行工藝的改進(jìn)、完善。同時(shí)，ArF光刻膠產(chǎn)品國產(chǎn)化替代受品質(zhì)、客戶的嚴(yán)格要求，后續(xù)是否能取得下游客戶的大批量訂單，能否大規(guī)模進(jìn)入市場仍存在較多的不確定性。這些都會影響ArF光刻膠的量產(chǎn)規(guī)模和經(jīng)濟(jì)效益。

眼下，全球半導(dǎo)體光刻膠市場主要被日本企業(yè)高度壟斷，并且在越高端的市場壟斷地位越明顯。目前，全球半導(dǎo)體光刻膠龍頭廠商是TOK（東京應(yīng)化）、信越化學(xué)、JSR（日本合成橡膠）、住友化學(xué)、富士膠片等日企和美國陶氏化學(xué)，這些龍頭企業(yè)總計(jì)占據(jù)各半導(dǎo)體光刻膠細(xì)分領(lǐng)域超過85%市場份額，其中頭部日企在各個(gè)細(xì)分領(lǐng)域都占據(jù)主導(dǎo)地位。最先進(jìn)的EUV光刻膠領(lǐng)域則完全被日企所主導(dǎo)，日本的JSR、TOK、信越化學(xué)成為EUV光刻膠市場上僅有的實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的廠商。

全球光刻膠市場格局 華泰證券2020年11月研報(bào)截圖

今年5月，南大光電曾在業(yè)績說明會上透露，該公司ArF光刻膠性能上和日本產(chǎn)品達(dá)到同等水平，并實(shí)現(xiàn)了ArF光刻膠的本土化，打破了被國外長期壟斷的被動局面，已經(jīng)拿到國內(nèi)光刻膠的首個(gè)訂單，實(shí)現(xiàn)小批量銷售，“用于質(zhì)量檢測的光刻機(jī)等量測設(shè)備是國外進(jìn)口的，我們已經(jīng)配備了，運(yùn)轉(zhuǎn)良好，沒有被卡的顧慮。主要原材料是自己開發(fā)和生產(chǎn)的，沒有被卡風(fēng)險(xiǎn)。生產(chǎn)設(shè)備是聯(lián)合國內(nèi)企業(yè)研制的，也不存在被卡風(fēng)險(xiǎn)”。

2020年，南大光電營收5.95億元，同比增長85.13%；凈利潤0.87億元，同比增長58.18%；扣非凈利潤為212萬元，同比下滑94.25%；研發(fā)投入為2.3億元，（含資本化部分）同比增長247.54%，占營收比重為38.98%。

從財(cái)報(bào)來看，光刻膠項(xiàng)目尚未給南大光電貢獻(xiàn)營收，該公司主要營收來自MO源產(chǎn)品（占比20.21%）和特氣產(chǎn)品（占比72.18%）。

財(cái)報(bào)介紹，MO源系列產(chǎn)品是制備LED、新一代太陽能電池、相變存儲器、半導(dǎo)體激光器、射頻集成電路芯片等的核心原材料，在半導(dǎo)體照明、信息通訊、航空航天等領(lǐng)域有極其重要的作用；而電子特氣是“集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、LED、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中必不可少的基礎(chǔ)和支撐性材料”。

2020年財(cái)報(bào)截圖

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